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无尘洁净室FFU的优点
日期:2025-06-08 04:32
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摘要:
FFU一般应用在无尘车间及洁净室,是净化设备的一种必需产品
1.风机采用德国ebm直驱式高效离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性,风机质量可靠,工作寿命长达5小时或以上。
2.特别适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。
3.壳体结构选用不锈钢、铝合金、冷轧钢板材料制造,重量轻、抗腐蚀、防锈、美观大方。
4.产品出厂前均按美国联邦标准209E,METOME尘埃粒子计数器逐台扫描检测,确保质量。
FFU的应用
FFU(Fan Filter Unit),是一个自带送风机(无壳风机)的高效过滤器送风口,它与其专用龙骨系统(Ceiling
Grid)、冷却盘管(一般为干盘管)、加压风机、新风系统以及专用灯具共同组成了FFU系统。
FFU的使用方式是新风有新风空调机处理至所需状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷(热)处理后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统*为常用于有超静要求的洁净室,如大型集成电路晶圆的制造、**显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。
其优点如下:
1、节省空间
因省去了巨大的送回风管,故可节省安装空间。对于层高紧张的改建项目非常合适。带来的另一个好处因风管很少空间相对宽敞而使工期缩短。
2、风口、灯具、烟感、喷淋、静电中和器等的合理布局
这些洁净室常用装置都在上有各自的安装天花板格子位置,既合理又美观。而在集中送风的净化系统里这些装置的布局经常冲突,吊顶显得拥挤不堪。
3、负压密封
FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从洁净室向静压箱泄漏,不会形成对洁净室的污染。
FFU系统也有缺点:风机数量大,故障机率大。且因FFU布置在吊顶上,维修有一定困难。而集中风系统因设备较为集中,数量也少,易于维护。但这也不完全是缺点:FFU系统正是因为数量众多而分散,通常少量的FFU出现故障,并不能对洁净度造成严重的破坏。甚至可以在对洁净度几乎没有影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只要一台AHU出现故障,就会造成大面积的洁净室停止运行,对生产的影响很大。在几乎所有的项目中,冷冻机、空压机、纯水设备、水泵、真空泵抢救无效都可以做到备份,尽量减少设备故障对生活的影响。唯独空调箱的备份几乎没用。FFU系统则在某种程度上达到了这个目的。
4、系统非常灵活,可随时调整
控制
产品型号 FFU-1 FFU-2 FFU-3
外形尺寸(L*W*H)mm 616*1226*350 616*616*350 1176*576*350
滤网尺寸(L*W*H)mm 600*1210*69 610*610*69 1170*570*69
风量m3/h 2000 1000 1300
调速控制 无级式风量调速器可任意调节风量大小
电压/电流 单相220V/50HZ
输入功率 140W-240W
滤网效率 HEPA99.99%(@0.3μm)以上
本体材质 SUS304/430镜面不锈钢