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洁净室室内静压差的测试
日期：2025-06-08 04:33
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摘要：
1、仪器设备及环境测量仪器倾斜微压计、数字微压计等，环境温度常温或设计温度下。
2、抽样对有设计要求的各个相邻区域实施检测。
3、静压差检测结果应符合下列规定。
（1）相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。
（2）洁净室与室外静压差应大于10Pa。
（3）洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。
4、操作过程及判定
（1）将所有的门关闭，将测定用胶管口径*好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处，垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动*小。
（2）静压差的测定应从平面上*里面的房间，通常也就是洁净度级别*高的房间，与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定，直至测得*靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。
（3）对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室，还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。
5、检测时的注意事项
在进行洁净室静压差检测之前，必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时，应该关闭的门全部关闭条件下的送风量与回风量、排风量是否与规定风量相符。若达不到标准的要求应重新调整新风量、排风量直至合格为止。