洁净室洁净度要求的四个必要条件之静压差

洁净室维持一定的正压是保证洁净室不受或少受污染、以维持设计洁净度等级必不可少地条件之一。即便是负压洁净室，它也必须有不低于它洁净度级别地相邻房间或套间维持一定地正压，负压洁净室的洁净度才能得以维持。

洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。

为了保证洁净室正压值，送风、回风和排风机*好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。

维持洁净室正压所需的风量主要根据维护结构密闭性好坏来确定。我国洁净室建设初期由于围护结构密闭性较差，要维持≥5Pa的正压就要2~6次/h送风量；目前维护结构密闭性已大为提高，维持同样的正压只要1~2次/h送风量；维持≥10Pa也只要2~3次/h送风量。

我国设计规范规定：不同等级的洁净室以及洁净区和非洁净区之间的静压差应不小于0.5mmH2O(~5Pa)，洁净区与室外的静压差应不小于1.0mmH2O(~l0Pa)。

该值似偏低的原因可能如下：

（1）正压是表示洁净室抑制通过门窗缝隙污染室内空气的能力，或在短时间打开门窗时使渗入室内的污染物减少到*低限度的能力，正压大小表示抑制污染能力的强弱，当然不是正压越大越好(后面将谈到)。

（2）正压所需的风量有限，5Pa正压与10Pa正压所需风量仅差约1次/h，何乐而不为呢？显然正压值低限取10Pa更优越些。

（3）美国联邦标准(FS209A~B)规定：当所有出入口关闭时，洁净室与任何相邻的低洁净度区域之间的*低正压差为0.05英寸水柱(12.5Pa)，这数值已被许多国家采用。

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