无尘室的建筑结构与地面施工

 随着科学技术的发展，电子、医药、生化等行业的工艺技术突飞猛进，产品日新月异。如大规模集成电路已从微米发展到纳米级并批量生产，受控粒子尺寸要求小于0.02μm，生产工艺对无尘室的环境要求更严格。

1 无尘室的建筑结构工程

无尘室的建筑结构设计和施工质量关系到无尘室装饰、安装和使用，因此无尘室建筑施工前应编制施工方案，并与无尘室其他专业施工协调配合。常见的问题是地面（以下均为底层）基础回填密实度、防潮层不到位，地面开裂等。

A. 确保回填土的密实度

有的工程工期紧机械回填土未分层夯实，致使设备安装时地坪下沉开裂。因此对回填土质量要严格控制，回填土施工时要进行旁站监理，确保回填土的密实度达到设计和规范要求。

B.新规范要求防水薄膜厚度不应小于1mm

行标与设计地面做法：素土夯实，夯实系数≥0.9。垫层为150厚碎石、卵石或3：7灰土，夯实后铺设0.6 mm厚聚氯乙烯防水薄膜防潮，实践证明0.6 mm厚防水薄膜容易破损。新规范要求灰土夯实后应铺设≥1mm防水薄膜，接头处搭接50mm并用胶带粘牢，然后铺20厚1：3水泥砂浆保护层。如设计图仍是0.6 mm厚防水薄膜，要求设计变更。

C.地面应合理配置钢筋网防裂

无尘室地面宜配置钢筋网防裂，基层混凝土强度等级≥C25，混凝土厚度≥150mm。《无尘室建筑结构》图集选用200厚C30细石混凝土内配￠8@150双向钢筋，随打随抹平，强度达标后表面磨平。PVC地面或环氧地面施工一般不是一家，二次施工往往会为地面平整度、面层强度、空鼓、起砂等扯皮，所以前期建筑结构施工把好质量关，对无尘室的施工质量十分重要。

2 无尘室地面施工

无尘室的装饰材料应满足隔热、隔声、防振、防虫、防腐、防火、防静电等要求外，还应保证无尘室的气密性和装饰表面不产尘、不吸尘、不积灰，并应易清洗，地面必须采用耐腐蚀、耐磨和抗静电材料。无尘室地面以粘贴PVC地板和涂布环氧材料为多，现浇水磨石地面已很少选用。粘贴和涂布地面正式施工前应做小面积样板，使粘结强度、耐磨性、表面电阻和观感等技术指标符合要求，才可正式施工，以防返工造成损失。

A.粘贴地面施工（以防静电PVC地板为例）

（1）粘贴、涂布地面施工前应用含水率测试仪器(CCM)对基础地面进行现场测试，其含水率应在2%～4%，当含水率在4%～7%之间，要用双份胶粘地面材料。对含水率＞7%的基础地面，必须采取加热通风等干燥处理。含水率大又未干燥处理的地面“抡工期”施工，其结果是地面空鼓、脱皮而返工的教训一定要吸取！

现场也可用塑料薄膜法（ASTM4263）检测，用450 mm×450mm塑料薄膜平铺在混凝土表面上，用胶带纸密封四周边16h后，塑料薄膜下出现水珠或混凝土表面变黑，说明混凝土过湿不宜粘贴、涂布；无水珠或湿气存在可施工。

（2）无尘室地面粘贴的防静电PVC板材或卷材，厚度一般选用2～3mm，厚度允许偏差＋0.18mm～－0.15mm。有的“进口”PVC卷材是冒牌货，进口材料的原产地证明、检测报告和报关单等复印件易造假，仔细核对矛盾不少。要与原件核查报关单编号、日期、签章、骑缝章、到岸港口、运输方式、批号是否一致。

（3）防静电PVC地板施工应采用非水溶性导电胶粘贴，非水溶性导电胶中炭黑与胶水的配合比为1：100，胶的电阻值应小于贴面板的表面电阻值（105～1010Ω），粘接强度＞3×106N/m2（3MPa）。强力胶、环氧树脂等非水溶性胶气味大，有的施工队用水基丙烯酸脂类粘胶剂（俗称白胶、木工胶）。丙烯酸等水溶性粘胶剂虽然施工方便，气味小也环保，但其粘接强度仅0.5MPa左右，与规范要求的相差甚远。若水溶性粘胶剂的粘接强度达到要求，PVC地板粘贴时能否使用，值得有关部门探讨。

（4）导电铜箔厚度不应小于0.05mm，宽度宜为25mm，是为了有效地防止静电积聚。有的导电铜箔厚度仅0.03mm，宽度仅10mm，还说是新标准，保证没有问题等等。所以对进场的材料要把好关，不要被忽悠。导电铜箔网间距按设计要求(一般为3000×3000mm)，面积在100 m2以上时接地端子不小于2个，每增加100 m2，应增设接地端子2个。

（5）无尘室PVC地板施工环境温度不应低于10℃，相对湿度不大于80%。铺贴时一定要压平，不能残留空气，地板粘贴4小时后才可进行接缝焊接。

B.涂布地面施工(以防静电环氧自流平为例)

无尘室涂布地面以环氧自流平和环氧砂浆地面为多，涂布地面的基础地面含水率≤7%才可施工。

（1）基层表面处理 涂布地面的基层表面应用喷砂或无尘电磨机清除地表灰砂、杂质，磨平后用吸尘器吸除灰砂。对凹陷、空洞地面应用环氧砂浆或环氧腻子填补后，才可进行底涂施工。不少“游击队”分包商没有上述施工机械，甚至对地面未吹扫、填补就进行底涂，其施工质量可想而知。所以要选择有资质的专业防腐施工队，以保证无尘室涂布质量。

（2）按2.1 (4)要求铺设导电铜箔并接地。

（3）中涂施工 将环氧色浆、固化剂与适量料径的石英砂、导电粉充分搅拌（有时要熟化），以增强地面的耐磨及平整度。环氧拌料用锯齿镘刀镘涂，然后用钉子辊来回辊压，以排出膜内空气，应在1小时内用完。（选用优质环氧树脂加固化剂混合均匀，静置几分钟后基本无气泡）。加砂量大一些，可采用抹光机抹光。

（4）面涂施工 在中涂层实干2～3天(20℃)固化后，刮涂填平、打磨、吸尘清洁后，面层可用镘涂、刷涂或喷涂，使其自行流平即可。防静电环氧自流平厚度2～3 mm，（防静电环氧砂浆厚度4～5 mm），施工后要养护7天完全固化。

（5）新规范要求涂布施工环境不宜低于20℃，相对湿度应低于85%，这是为了保证涂布质量。高温时环氧涂料两组份反应快，有时来不及流平就固化；5℃以下环氧涂料基本上不固化反应，粘度大难以施工。